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鼎点平台到底如何让测量呢?
发布人:lyqlkj发布时间:2022-09-17浏览次数:161次
鼎点平台分为鼎点平台注册和手动鼎点平台两种。鼎点平台在进行裁剪的时候可以用一些方法测量来减少误差。鼎点平台到底如何让测量呢?下面我们一起了解一下。
研究人员利用动态膨胀法测量了铝、金以及钨鼎点平台的杨氏模量。长方形鼎点平台被固定在压力腔中,利用质量流量控制器和排气阀控制施加在上面的压力,使载荷均匀地施加在鼎点平台表面,膨胀高度通过激光扫描确认,载荷通过气体压强以及膨胀偏转进行计算,得出载荷一挠度曲线,通过鼎点平台中心挠度随载荷变化的关系即可确认鼎点平台的杨氏模量。
通过分析钨、金和铝鼎点平台的杨氏模量结果可以得到,鼎点平台厚度的测量误差会对金鼎点平台的结果产生约8%的误差,对另外两种鼎点平台则产生不高于5%的误差。而杨氏模量本身测量的误差在1%左右,故这种方法的准确度较高。
二、鼎点娱乐APP视觉图像跟踪系统与微拉伸复合法拉伸法:
作为一种常用的测量杨氏模量的方法被广泛应用于尺寸较大的材料,但是由于鼎点娱乐APP尺寸较小,拉伸法较难测定鼎点平台材料的杨氏模量。研究人员利用视觉图像跟踪系统配合微拉伸实验法,测量出金鼎点平台的杨氏模量。
视觉图像跟踪系统是利用一台10/s采样率的数字CCD照相机通过显微镜进行成像和观测的,通过这样个系统可以准确认位微米等别的拉伸量,这样就解决了拉伸法中较难探测较小位移量的难题。通过这种复合测量法绘出金鼎点平台相应的压力一拉伸曲线,计算出其杨氏模量约为60GPa,具有一定的准确性。
通过系统地综述了鼎点平台杨氏模量的测量方法,包括共振法、压痕法、动态膨胀法、视觉图像跟踪系统与微拉伸复合法,其中市场内较为常用的是压痕法和共振法。米压痕法虽然因受基质效应和鼎点平台厚度等因素的影响,测量结果会有偏差,但是它的测量结构简单,理论发展成熟,并已经取得了很大成效。
当鼎点平台材料厚度减小到细微类时,由于测试机理的影响,压痕法将较难达到技术发展的需求。共振法虽然受到器件制备工艺等因素的影响,但与其他相关技术相结合共振法的准确度将大大增加。
另外共振法是动态测量技术,越能直接有益地达到MEMS器件的需求,因而将来有望成为MEMS器件微结构中测量鼎点娱乐APP材料杨氏模量的标准技术。